Name: 真空等离子清洗机PC-1
Brand: 容道社
Availability: InStock

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等离子清洗机

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产品详情

　　PC-1 真空等离子清洗机说明

　　● 自动一键操作

　　● 高效清洗快速达成表面亲水性

　　● 不损伤产品，不改变材料特性

　　● 设备灵巧适合各种使用环境

　　● 外形尺寸：450mm(W)*380mm(D)*230mm(H)
真空等离子清洗机

　　江苏容道社半导体设备科技有限公司总部位于江苏苏州吴江汾湖高新区BGT园区内，占地面积5000 平米；拥有专业的黄光生产实验区以及半导体设备生产组装及测试车间；拥有一支能与时俱进、紧跟行业技术发展并能不断创新的技术与产品研发团队；容道社已形成自主可控的I线、G线、H线光刻机、匀胶机、显影机、匀胶显影一体机、金属剥离去胶机、湿法刻蚀机、湿法清洗机等冷热处理与客制化需求等设备产品系列与独立模块产品，可适应不同工艺等级的客户要求；容道社自主产品已通过客户现场验证实现晶圆上料、工艺传送、匀胶、光刻、显影、金属剥离去胶、刻蚀，清洗等一系列生产工艺链条流程化实现缺陷联防达到工厂自动化、信息化、智能化。

PC-1 真空等离子清洗机参数
腔体材质	铝合金
射频电源	0-500W可调
射频频率	25KHz
真空度	≤100Pa
气体路	单路
气体流量	0.1-1L/Min
清洗时间	0-999秒可调
内腔尺寸	Φ147mm*145mm（可定制更大尺寸）
真空泵	飞越-4
电源输入	AC220V

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PC-1 真空等离子清洗机，外形尺寸：450mm（W）380mm（D）230mm（H）。

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