Name: 半导体等离子清洗机
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等离子清洗机

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产品详情

　　江苏容道社半导体设备科技有限公司成立于2023年11月20日，总部位于江苏苏州吴江汾湖高新区BGT园区内，占地面积5000+平米；拥有专业的黄光生产实验区以及半导体设备生产组装及测试车间；拥有一支能与时俱进、紧跟行业技术发展并能不断创新的技术与产品研发团队；容道社已形成自主可控的匀胶机、显影机、匀胶机旋涂仪、烤胶机、涂膜机、刮膜机、涂胶机、涂布机、涂敷机、去胶机、紫外清洗机、匀胶显影一体机、等离子清洗机、金属剥离去胶机、湿法清洗机等冷热处理与客制化需求等设备产品系列与独立模块产品，可适应不同工艺等级的客户要求；容道社自主产品已通过客户现场验证实现晶圆上料、工艺传送、匀胶、显影、金属剥离去胶、清洗等一系列生产工艺链条流程化实现缺陷联防达到工厂自动化、信息化、智能化。

　　优势：

　　生产效率提高

　　1、交付周期比同期压缩40%

　　2、模块化生产

　　3、产能弹性倍增

　　供应链整合与成本控制与绿色环保

　　1、采购成本下降20%

　　2、国产零部件替代加速

　　3、库存周转率优化

　　4、通过软件和工艺结合提高试剂的循环利用，减排增绿。

　　技术协同与创新突破

　　1、工艺整合创造新价值(开发光刻-涂胶-显影-刻蚀-去胶-清洗一体化工艺链条设备)

　　2、缺陷率联防

　　3、国际合作联合研发攻克掐脖子关键技术

　　PC-1 半导体等离子清洗机说明

　　● 自动一键操作

　　● 高效清洗快速达成表面亲水性

　　● 不损伤产品，不改变材料特性

　　● 设备灵巧适合各种使用环境

　　● 外形尺寸：450mm(W)*380mm(D)*230mm(H)

PC-1 半导体等离子清洗机参数
腔体材质	铝合金
射频电源	0-500W可调
射频频率	25KHz
真空度	≤100Pa
气体路	单路
气体流量	0.1-1L/Min
清洗时间	0-999秒可调
内腔尺寸	Φ147mm*145mm（可定制更大尺寸）
真空泵	飞越-4
电源输入	AC220V

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PC-1 半导体等离子清洗机，外形尺寸：450mm（W）380mm（D）230mm（H）。

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