Name: HT-3 烤胶机（加热台）
Brand: 容道社
Availability: InStock

产品分类 Product Categories

烤胶机/加热台

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产品详情

HT-3 烤胶机（加热台）参数
加热面板区域尺寸	220mm*220mm
控温范围	室温—400℃
温度分辨率	0.1℃
控温精度	±0.2℃
温控均匀性	200℃以下≤ ± 1%； 200℃-400℃≤ ±2%
顶升调节高度	0-30mm
顶升高度分辨率	0.1mm
电源输入	AC220V
可存储100组烤胶工艺配方且每个工艺配方可设置5个加热阶段
顶升可使用底物直径大于40mm晶圆，特殊要求可定制

HT-3 烤胶机（加热台）说明
● 阳极氧化加热面板耐腐蚀，硬度高
● 7寸触摸屏操作，PLC控制
● 嵌入式加热结构设计
● 自动顶升设计实现接近烤胶控制
● 外形尺寸：300mm（W）*445mm（D）*295mm（H）

江苏容道社半导体设备科技有限公司总部位于江苏苏州吴江汾湖高新区BGT园区内，占地面积5000 平米；拥有专业的黄光生产实验区以及半导体设备生产组装及测试车间；拥有一支能与时俱进、紧跟行业技术发展并能不断创新的技术与产品研发团队；容道社已形成自主可控的I线、G线、H线光刻机、匀胶机、显影机、匀胶显影一体机、金属剥离去胶机、湿法刻蚀机、湿法清洗机等冷热处理与客制化需求等设备产品系列与独立模块产品，可适应不同工艺等级的客户要求；容道社自主产品已通过客户现场验证实现晶圆上料、工艺传送、匀胶、光刻、显影、金属剥离去胶、刻蚀，清洗等一系列生产工艺链条流程化实现缺陷联防达到工厂自动化、信息化、智能化。

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