Name: 匀胶显影机SC-4
Brand: 容道社
Availability: InStock

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匀胶机/旋涂仪

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产品详情

　　SC-4 匀胶显影机说明

　　● 设备轻巧，适合手套箱内操作

　　● 液晶显示、按键式面板、操作简单

　　● 单步与多步可选，每步可设置转速范围、时长和加速度

　　● 性能稳定满足实验需求

　　● 镜面不锈钢外壳，耐腐蚀独立内腔方便清洁与跟换

　　● 产品外形尺寸：208mm(W)×282mm(D)×218mm(H)
匀胶显影机

　　江苏容道社半导体设备科技有限公司总部位于江苏苏州吴江汾湖高新区BGT园区内，占地面积5000 平米；拥有专业的黄光生产实验区以及半导体设备生产组装及测试车间；拥有一支能与时俱进、紧跟行业技术发展并能不断创新的技术与产品研发团队；容道社已形成自主可控的I线、G线、H线光刻机、匀胶机、显影机、匀胶显影一体机、金属剥离去胶机、湿法刻蚀机、湿法清洗机等冷热处理与客制化需求等设备产品系列与独立模块产品，可适应不同工艺等级的客户要求；容道社自主产品已通过客户现场验证实现晶圆上料、工艺传送、匀胶、光刻、显影、金属剥离去胶、刻蚀，清洗等一系列生产工艺链条流程化实现缺陷联防达到工厂自动化、信息化、智能化。

SC-4 匀胶显影机参数
可处理基片尺寸	≤4inch
转速范围	100-9999rpm
加速度可调范围	100-9999rpm/s
单步时长	≤3000S
转速分辨率	1s
直流无刷电机	宽电压适用AC100-230V输入

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SC-4 匀胶显影机，液晶显示、按键式面板、操作简单，单步与多步可选，每步可设置转速范围、时长和加速度。

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