Name: 伺服匀胶机SC-6
Brand: 容道社
Availability: InStock

产品分类 Product Categories

匀胶机/旋涂仪

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产品详情

　　SC-6 伺服匀胶机说明

　　● 镜面不锈钢外壳，耐腐蚀内腔

　　● 7寸全彩触摸屏人机界面操作

　　● 工业级BLDC电机与单片机控制

　　● 防进胶、防堵胶功能设计

　　● 可升级一路精确计量自动点胶功能

　　● 带真空开关和盖子开关安全互锁功能

　　● 产品外形尺寸：292mm(W)*380mm(D)*246mm(H)
伺服匀胶机

　　江苏容道社半导体设备科技有限公司总部位于江苏苏州吴江汾湖高新区BGT园区内，占地面积5000 平米；拥有专业的黄光生产实验区以及半导体设备生产组装及测试车间；拥有一支能与时俱进、紧跟行业技术发展并能不断创新的技术与产品研发团队；容道社已形成自主可控的I线、G线、H线光刻机、匀胶机、显影机、匀胶显影一体机、金属剥离去胶机、湿法刻蚀机、湿法清洗机等冷热处理与客制化需求等设备产品系列与独立模块产品，可适应不同工艺等级的客户要求；容道社自主产品已通过客户现场验证实现晶圆上料、工艺传送、匀胶、光刻、显影、金属剥离去胶、刻蚀，清洗等一系列生产工艺链条流程化实现缺陷联防达到工厂自动化、信息化、智能化。

SC-6 伺服匀胶机参数
可处理基片尺寸	≤150mm
转速范围	100-12000rpm
转速分辨率	1rpm
加速度可调范围	100-3000rpm/s
单步时长	≤3000s
均匀性数据
4寸晶圆片内： ±0.51% 片间： ± 1.05% 膜厚： 1350nm 胶液： AZ1500(20CP)
6寸晶圆片内： ± 1.18% 片间： ± 1.86% 膜厚： 4400nm 胶液： SPR220-4.5(123CP)
单步或多步运行可选，可编程10组10步程序
标配10mm 、25mm 、2英寸三种直径规格真空载物盘

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SC-6 伺服匀胶机，产品外形尺寸：292mm（W）380mm（D）246mm（H）。

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