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产品详情
| 伺服匀胶机产品参数 | |
| 可处理基片尺寸 | ≤150mm |
| 转速范围 | 100-12000rpm |
| 转速分辨率 | 1rpm |
| 加速度可调范围 | 100-3000rpm/s |
| 单步时长 | ≤3000s |
| 均匀性数据 | |
| 4寸晶圆 片内: ±0.51% 片间: ± 1.05% 膜厚: 1350nm 胶液: AZ1500(20CP) | |
| 6寸晶圆 片内: ± 1.18% 片间: ± 1.86% 膜厚: 4400nm 胶液: SPR220-4.5(123CP) | |
| 单步或多步运行可选, 可编程10组10步程序 | |
| 标配10mm 、25mm 、2英寸三种直径规格真空载物盘 | |

伺服匀胶机产品说明
● 镜面不锈钢外壳,耐腐蚀内腔
● 7寸全彩触摸屏人机界面操作
● 工业级BLDC电机与单片机控制
● 防进胶、防堵胶功能设计
● 可升级一路精确计量自动点胶功能
● 带真空开关和盖子开关安全互锁功能
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