伺服匀胶机
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伺服匀胶机

SC-6 伺服匀胶机,产品外形尺寸:292mm(W)*380mm(D)*246mm(H)。镜面不锈钢外壳,耐腐蚀内腔。

更新时间

2026-04-20

厂商性质

生产厂家

浏览量

46

或拨打:15159250292

产品详情

伺服匀胶机产品参数

可处理基片尺寸

≤150mm

转速范围

100-12000rpm

转速分辨率

1rpm

加速度可调范围

100-3000rpm/s

单步时长

≤3000s

均匀性数据

4寸晶圆  片内: ±0.51%  片间: ± 1.05%  膜厚: 1350nm 胶液: AZ1500(20CP)

6寸晶圆  片内: ± 1.18%  片间: ± 1.86%  膜厚: 4400nm 胶液: SPR220-4.5(123CP)

单步或多步运行可选, 可编程10组10步程序

标配10mm 、25mm 、2英寸三种直径规格真空载物盘

 

伺服匀胶机产品说明
● 镜面不锈钢外壳,耐腐蚀内腔
● 7寸全彩触摸屏人机界面操作
● 工业级BLDC电机与单片机控制
● 防进胶、防堵胶功能设计
● 可升级一路精确计量自动点胶功能
● 带真空开关和盖子开关安全互锁功能

● 产品外形尺寸:292mm(W)*380mm(D)*246mm(H) 

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