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产品详情
| 台式匀胶机产品参数 | |
| 可处理基片尺寸 | ≤300mm |
| 转速范围 | 20-5000rpm |
| 转速分辨率 | 1rpm |
| 加速度可调范围 | 20-10000rpm/s |
| 单步时长 | ≤3000s |
| 均匀性数据 | |
| 4寸晶圆 片内： ±0.58% 片间： ±0.20% 膜厚： 1470nm 胶液： AZ1500(20CP) | |
| 6寸晶圆 片内： ±0.72% 片间： ±0.89% 膜厚： 1320nm 胶液： AZ1500(20CP) | |
| 8寸晶圆 片内： ±0.60% 片间： ± 1.32% 膜厚： 2260nm 胶液： AZ1500(20CP) | |
| 12寸晶圆 片内： ± 1.10% 片间： ±0.68% 膜厚： 490nm 胶液： AZ1500(4.4CP) | |
| 可编程100组100步程序,更多可扩展 | |
| 四路自动点胶端口,可升级多路自动点胶功能 | |
| 标配10mm 、25mm 、2英寸三种直径规格真空载物盘， 按需定制载物盘 | |
台式匀胶机产品说明
● 镜面不锈钢外壳，镀特氟龙内腔
● 工业级设计，PLC控制、7寸全彩触屏操作
● 高级伺服电机驱动，高精度、高重复性
● 可添加背部清洗和去边胶功能，满足工业用途
● 可添加防溅罩式清洗和显影功能，满足定制需要
● 增加真空调压和真空数显功能,可直观显示当前真空数显值
● 更大尺寸和重型底物以及内腔抽真空等要求均可定制
● 模块化设计，可实现不同功能模块的自由定制
● 支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗等功能定制
在线留言
15159250292
178684988@qq.com
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