Name: PC-3型等离子清洗机
Brand: 容道社
Availability: InStock

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等离子清洗机

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产品详情

PC-3型等离子清洗机说明

自动一键操作，满足8寸以下基片使用

可处理形状复杂材料

低温等离子体，能量低，密度高适合处理特殊材料

无环境污染，无化学品污染，机器本身不产生污染

外形尺寸：620mm（W）*550mm（D）*410mm（H）

PC-3型等离子清洗机参数
射频功率	0-300W可调
射频频率	13.56MHz
匹配器	自动匹配
气体控制	双浮子流量计
有效处理尺寸	L200mm*W200mm
时间设定	6000S
真空泵	8m³/h
气体稳定时间	30S
真空度	＜10Pa
电源输入	AC220V

江苏容道社半导体设备科技有限公司成立于2023年11月20日，总部位于江苏苏州吴江汾湖高新区BGT园区内，占地面积5000+平米；拥有专业的黄光生产实验区以及半导体设备生产组装及测试车间；拥有一支能与时俱进、紧跟行业技术发展并能不断创新的技术与产品研发团队；容道社已形成自主可控的匀胶机、显影机、匀胶机旋涂仪、烤胶机、涂膜机、刮膜机、涂胶机、涂布机、涂敷机、去胶机、紫外清洗机、匀胶显影一体机、等离子清洗机、金属剥离去胶机、湿法清洗机等冷热处理与客制化需求等设备产品系列与独立模块产品，可适应不同工艺等级的客户要求；容道社自主产品已通过客户现场验证实现晶圆上料、工艺传送、匀胶、显影、金属剥离去胶、清洗等一系列生产工艺链条流程化实现缺陷联防达到工厂自动化、信息化、智能化。

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PC-3型等离子清洗机，外形尺寸：620mm（W）550mm（D）410mm（H）。

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