DI-8 封闭式显影机
可处理基片尺寸	≤200mm
旋涂速度	20-3000rpm
转速分辨率	1rpm
加速度可调范围	20-10000rpm/s
工艺时间设定	0-3000S
单片工艺及多步工艺可选内置100种可编程程序
适用于标准三路显影（1路显影液，1路氮气，1路纯水）

江苏容道社半导体设备科技有限公司成立于2023年11月20日，总部位于江苏苏州吴江汾湖高新区BGT园区内，占地面积5000+平米；拥有专业的黄光生产实验区以及半导体设备生产组装及测试车间；拥有一支能与时俱进、紧跟行业技术发展并能不断创新的技术与产品研发团队；容道社已形成自主可控的匀胶机、显影机、匀胶机旋涂仪、烤胶机、涂膜机、刮膜机、涂胶机、涂布机、涂敷机、去胶机、紫外清洗机、匀胶显影一体机、等离子清洗机、金属剥离去胶机、湿法清洗机等冷热处理与客制化需求等设备产品系列与独立模块产品，可适应不同工艺等级的客户要求；容道社自主产品已通过客户现场验证实现晶圆上料、工艺传送、匀胶、显影、金属剥离去胶、清洗等一系列生产工艺链条流程化实现缺陷联防达到工厂自动化、信息化、智能化。

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DI-8 封闭式显影机，内置真空过滤器防止液体进入真空泵，全封闭式显影避免雾气扩散到外部。

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