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产品详情
HT-5型烤胶机(加热台)说明
阳极氧化加热面板耐腐蚀,硬度高
7寸触摸屏操作,PLC控制
嵌入式加热结构设计
自动顶升设计实现接近烤胶控制
带线性控温及真空吸附功能
外形尺寸:300mm(W)*445mm(D)*295mm(H)
HT-5型烤胶机(加热台)参数 | |
加热面板区域尺寸 | 220mm*220mm |
控温范围 | 室温-300℃ |
温度分辨率 | 0.1℃ |
控温精度 | ±0.2℃ |
温控均匀性 | 200℃以下≤±1%;200℃-400℃≤±2% |
顶升调节高度 | 0-30mm |
顶升高度分辨率 | 0.1mm |
真空接口 | 真空外径6mm |
真空输入要求 | 0.04-0.09Mpa |
电源输入 | AC220V |
可存储100组烤胶工艺配方且每组工艺配方可设置5个加热阶段 | |
顶升可使用底物直径大于40mm晶圆,特殊要求可定制 | |
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